●Прибор лазерный комбинированный: эллипсометр – рефлектометр
Элипсометры лазерные включают в себя и эллипсометр и рефлектометр, и работает по принципу лазерного сканера. Эта уникальная комбинация позволяет определять толщину пленок с высочайшей точностью, причем выполнять это измерение под разными углами. Этим прибором можно также определять оптические характеристики на поверхностях различных типов. Речь идет о пленочных структурах, к частности о коэффициенте преломления и показателе поглощения. Все эти измерения относятся к нанопленкам.
Прибор отличается от всех предыдущих:
- расширенным диапазоном измерения (возможность измерять пленки толщиной от 1,0 нм);
- отличается высокой стабильностью и точностью в случае измерений с источником света;
- имеет термостабилизованный компенсатор, показатель сверх низких шумов, возможность управления поляризатором;
- при помощи автоколлиматического телескопа достигается высокая точность выравнивания (при регулировке высоты и угла наклона) образца;
- есть возможность проводить многоугловые измерения с применением программного обеспечения SENTECH;
- в комплекте имеется полный перечень предустановленных применений в области микроэлектроники, фотовольтаике и др. областях.
Технические характеристики эллипсометра включают следующие показатели:
- длину волны - менее 1 мвт;
- точность измерения ψ - 0,002°, при этом долговременная стабильность составляет δψ = + 0,1°;
- показатель точности измерения толщины нанопленки - 0,01 нм;
- для прозрачных пленок диапазон измерения составляет до 6 мкм;
- для полисиликона (слабоадсорбирующих слоев) - до 2 мкм;
- время измерения находится в зависимости от режима проводимых измерений и находится в диапазоне от 120 мс и до 0,1 с;
- световое пятно имеет диаметр 1 мм;
- луч света направляется под углом 40–90° (при использовании ручного гониометра);
- применение автоколлиматического телескопа с целью фокусировки и выравнивания образца.
Рефлектометр:
- работает по принципу интерференции белого света, когда угол падения - нормальный;
- спектрометром является фотометр, содержащий матричный фотодетектор;
- диапазон спектра - 450-920 нм;
- временной диапазон измерения - 30-300 мс;
- измерение толщин возможно в диапазоне от 50 до 25000 нм;
- световое пятно имеет диаметр 80 мкм.
Этот прибор - образец современного оборудования для применения в области микроэлектроники и нанотехнологий.
«Данная статья подготовлена специально для сайта www.liberty-rb.ru. Копирование статьи разрешается только с указанием активной ссылки на наш сайт».
